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EXRADEX Excimer lamps 172 nm

Application fields                                               Product properties

• Activation of surface bonds                                                                                              • Instant-On source for Vacuum UV radiation; no warm-up phase 

• Adjustment of wetting angle                                                                                             • Monochromatic light source for Xenon excimer 

• Cleaning of photo masks                                                                                                     radiation at 172 nm (FWHM14nm)  

• Removal of organic residue                                                                                              • No UV-A, No UV-B radiation

• Matting of acrylic lacquers without matting agent                                                              • Patented pulse mode operation for high conversion 

• Removal of photoresist • Photo induced etching (e.g. Teflon)                                                   efficiency of about 40%

• Photo induced CVD at lower process temperature                                                              • Light weight

• Photocatalytic processes in advanced wafer processing                                                      • No cooling required

• Removal of organic toxins in water                                                                                   • Nitrogen purging required 

• Lacquer hardening without Photoinitiator                                                                          • No limitations on switching cycles 

• Photo induced surface oxidation                                                                                       • Capable of instant restrike with no detriment to

• Surface treatment for improved adhesion                                                                            lamp life     

• Increased pump speed for vacuum systems                                                                      • Lamp life: 2500 hrs

• Different lengths available 

• Two versions for use in vacuum available

• Made in Germany